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    高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長方案

    MBE(分子束外延)用氧氣源適用案例

    高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長方案(圖1)

    效果

    利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質(zhì)的金屬氧化物薄膜。

    利用純臭氧作為氧氣源的優(yōu)越性得到國際認知。

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